广州潽拓光电科技有限公司--英福康真空计维修；

▲DL-10A谐振阻抗测量电路

近似地谐振阻抗Z为：Z=R×VAE/VDE。其中VAE是AE两点间的电压，VDE是DE两点间的电压。测量了阻抗，由阻抗与气体压强的关系曲线，便可知道气体的压强。例如，DL-10A型石英真空计采用FC135晶振做传感器，其阻抗与压强的关系如下所示：▲FC135晶振谐振阻抗与压强的关系

图中纵坐标△Z是谐振阻抗Z与固有阻抗Z0之差。固有阻抗是压强远小于下限即小于10-3Pa的阻抗。横坐标是压强，由图可见，在压强小于100Pa，△Z与P近似成线性关系。在104-105Pa之间，△Z与P的开方成正比。我们将上述曲线存在单片机中，测量△Z值，由数码管显示对应的压强值，这就是石英真空计的工作原理。

DL-10A设置一个零点调节按键，当压强小于10-3Pa时，按一下该按键，单片机执行中断程序，将此时的Z值存在单片机的EEPROM中。DL-10A还设置一个大气调节按键，当传感器暴露在大气时，按一下该按键，单片机执行另一中断程序，将此时的Z值存在单片机的另一EEPROM中。当仪器长时间不用或环境温度变化较大时，应进行零点调节及大气调节。

广州潽拓光电科技有限公司--英福康真空计出售；

企业视频展播，请点击播放

视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

广州潽拓光电科技有限公司--英福康真空计维修；

真空计，又叫真空规。

半导体行业中，难以避免的使用真空计，主要是用于测量某一个腔室或是管路中的气体压强。

是什麽？能干什么？如何使用？

1，是什麽？真空计，字面意思，计量检定真空度的仪器设备。

2，能干什么？真空计关键用于测量真空，或是叫测量气体压强尺寸。腔室里边汽体多，压力大，气体压强大，真空计表明的标值就大；相反，真空计表明的标值小。

3，如何使用？一般便是把真空计的物理性插口，KF接口或是是外螺纹插口收到腔室上，随后把真空计的电气设备插口收到电脑上或是型的数显仪表上。那样就可以测量腔室的真空度，也可以见到真空度实际的数据了。

真空计的种类及基本原理

真空计（VacuumGauge）,又被称为真空规，是测量真空度或标准气压的仪器设备。一般利用不一样标准气压下的某类物理学效用的变动开展标准气压的测量。在科学研究和工业制造中普遍应用。依照真空计测量基本原理所利用的差异的物理学体制，可将具体的真空计分成三大类，分别是利用物理性能，利用汽体动力学模型和利用自由电子作用的真空计。

广州潽拓光电科技有限公司--英福康真空计出售；

广州潽拓光电科技有限公司--英福康真空计维修；

气体类型对热偶真空计的危害热偶真空计对不一样气体的测定結果是不一样的，这也是因为不一样气体分子结构的传热系数不一样引发的。但各种各样气体的p-E校准曲线样子都相似，因而，在准确测量不一样气体的负担时，可依据干躁气体(或氢气)标尺的工作压力读值，再乘于相对应的被测气体相对度，就可获得该气体的真实工作压力，

即通常以干躁气体(或氢气)的相对度为1，别的一些较常用的气体和水蒸气的相对度如表4-2所显示。相对度说明了气体导热的特性。从表得知，针对气体分子结构中具备同样原子数的气体或蒸汽，其相对度Sr随相对分子质量的增加而扩大。表4-2一些气体与蒸汽的相对度

热偶规管加温电流量的明确因为生产制造热偶规管常用的原料及加工工艺等缘故，每一个规管的加温电流量均不同样；在应用历程中也会因为规管“衰老”促使加温电流量增大；除此之外，不一样检测范围的加温电流量也是有差别。因而，在应用热偶记时，应按不一样的测量范围明确规管的加温电流量。

广州潽拓光电科技有限公司--英福康真空计出售；